אַפּלאַקיישאַן
אַלע-אין-איין פּלאַן, קלוג סטרוקטור און פאָרעם.סקאַן קאָפּ און מוסטער בינע זענען דיזיינד צוזאַמען, שטאַרק אַנטי-ווייבריישאַן פאָרשטעלונג. פּריסעסיאָן לאַזער דיטעקשאַן מיטל מאַכן לאַזער אַדזשאַסטמאַנט פּשוט און גרינג צו פאָר די שפּיץ פון שפּיץ מאַניואַלי אָדער אויטאָמאַטיש, צו פאַרשטיין פּינטלעכקייט סקאַנינג שטח פּאַזישאַנינג פּאַזישאַנינג. קליקט סיסטעם פֿאַר פאַקטיש-צייט מוסטער געגנט אַבזערווינג און שטעלע; ניצן סעראָמאָטאָר צו דערגרייכן CCD אַוטאָ פאָוקיסינג עלעקטראָניש סיסטעם איז דיזיינד ווי מאַדזשאַלער און אַוויוואַלשאַן און אַנטוויקלונג.
שליסל פֿעיִקייטן
1. יבערקוקן קאָפּ און מוסטער בינע זענען דיזיינד צוזאַמען, שטאַרק אַנטי-ווייבריישאַן פאָרשטעלונג
2. פּינטלעכקייַט לאַזער דיטעקשאַן און זאָנד אַליינמאַנט מיטל מאַכן לאַזער אַדזשאַסטמאַנט פּשוט און לייַכט;
3. אַדאַפּט סערוואָמאָטאָר צו פאָרן די מוסטער אַפּראָוטשינג שפּיץ מאַניואַלי אָדער אויטאָמאַטיש, צו פאַרשטיין פּינטלעכקייַט סקאַנינג שטח פּאַזישאַנינג שטח פּאַזישאַנינג שטח פּאַזישאַנינג שטח.
4. הויך-אַקיעראַסי און גרויס אָפט מוסטער אַריבערפירן מיטל לאָזן צו יבערקוקן קיין טשיקאַווע זאַמלונג פון מוסטער;
5. אָפּטיש אָבסערוואַציע סיסטעם פֿאַר שפּיץ טשעק און מוסטער פּאַזישאַנינג.
6. עלעקטראָניק סיסטעם איז דיזיינד ווי מאַדזשאַלער און גרינג פֿאַר וישאַלט און ווייַטער אַנטוויקלונג.
7. אַדאַפּט פרילינג פֿאַר ווייבריישאַן אפגעזונדערטקייט, פּשוט און גוט פאָרשטעלונג.
ויסטיילונג
| אָפּערירונג | קאָנטאַקט מאָדע, רייַבונג מאָדע, | יבערקוקן ווינקל | טראַפ- |
| מוסטער גרייס | ≤≤90 מם, ה ≤20 מם | מוסטער באַוועגונג | 0 ~ 20 מם |
| מאַקס. יבערקוקן | X / y: 20μ ם, ז: 2μ ם | דויפעק ברייט פון אַפּראָוטשינג מאָטאָר | 10 ± 2מס |
| האַכלאָטע | X / y: 0.2 NM, z: 0.05 נם | אָפּטיש סיסטעם | מאַגנאַפאַקיישאַן: 4 קס, |
| יבערקוקן קורס | 0.6 הז ~ 4.34 הז | דאַטן פונקטן | 256 × 256,512 × 512 |
| סקאַנינג | Xy: 18-ביסל ד / א, ז: 16-ביסל ד / אַ | באַמערקונגען טיפּ | DSP דיגיטאַל באַמערקונגען |
| דאַטן מוסטערונג | איין 14-ביסל א / ד און טאָפּל 16-ביסל א / ד קייפל-קאַנאַל סיימאַלטייניאַסלי | ||
| פּיסי קשר | USB2.0 | באַמערקונגען מוסטערונג קורס | 64.0Khz |
| פֿענצטער | קאַמפּאַטאַבאַל מיט Windows 98/2000 / XP / 7/8 | ||
סטאַנדאַרט
גב / ט 2985-1991
פאַקטיש פאָטאָס
