אַפּפּליקאַטיאָן
אַלע-אין-איין פּלאַן, קלוג סטרוקטור און פאָרעם. סקאַן קאָפּ און מוסטער בינע זענען דיזיינד צוזאַמען, שטאַרק אַנטי-ווייבריישאַן פאָרשטעלונג. פּינטלעכקייַט לאַזער דיטעקשאַן און זאָנד אַליינמאַנט מיטל מאַכן לאַזער אַדזשאַסטמאַנט פּשוט און גרינג. אַדאַפּט סערוואָמאָטאָר צו פירן די מוסטער אַפּראָוטשינג שפּיץ מאַניואַלי אָדער אויטאָמאַטיש, צו פאַרשטיין פּינטלעכקייַט סקאַנינג געגנט פּאַזישאַנינג. הויך-פּינטלעכקייַט און גרויס קייט מוסטער אַריבערפירן מיטל לאָזן צו יבערקוקן קיין טשיקאַווע געגנט פון מוסטער; פאַרשידענע טייפּס פון סקאַננער טרעפן פאַרשידענע קונה ס באדערפענישן אין אַקיעראַסי און יבערקוקן גרייס; אָפּטיש אָבסערוואַציע סיסטעם פֿאַר שפּיץ טשעק און מוסטער. פּאַזישאַנינג.קקד אַבזערווינג סיסטעם פֿאַר פאַקטיש-צייט מוסטער געגנט אַבזערווינג און שטעלע; ניצן סערוואָמאָטאָר צו דערגרייכן קקד אַוטאָ-פאָוקיסינג עלעקטראָניש סיסטעם איז דיזיינד ווי מאַדזשאַלער און גרינג פֿאַר וישאַלט און אַנטוויקלונג. ינטעגראַטעד מיט פילע ארבעטן מאָדעס קאָנטראָל עלעקטראָניק פֿאַר ווייַטער אַנטוויקלונג.
שליסל פֿעיִקייטן
1. סקאַן קאָפּ און מוסטער בינע זענען דיזיינד צוזאַמען, שטאַרק אַנטי-ווייבריישאַן פאָרשטעלונג
2. פּרעסיסיאָן לאַזער דיטעקשאַן און זאָנד אַליינמאַנט מיטל מאַכן לאַזער אַדזשאַסטמאַנט פּשוט און גרינג;
3. אַדאַפּט סערוואָמאָטאָר צו פאָר די מוסטער אַפּראָוטשינג שפּיץ מאַניואַלי אָדער אויטאָמאַטיש, צו פאַרשטיין פּינטלעכקייַט סקאַנינג געגנט פּאַזישאַנינג.
4. הויך-פּינטלעכקייַט און גרויס קייט מוסטער אַריבערפירן מיטל לאָזן צו יבערקוקן קיין טשיקאַווע געגנט פון מוסטער;
5. אָפּטיש אָבסערוואַציע סיסטעם פֿאַר שפּיץ טשעק און מוסטער פּאַזישאַנינג.
6. עלעקטראָניש סיסטעם איז דיזיינד ווי מאַדזשאַלער און גרינג פֿאַר וישאַלט און ווייַטער אַנטוויקלונג.
7. אַדאַפּט פרילינג פֿאַר ווייבריישאַן אפגעזונדערטקייט, פּשוט און גוט פאָרשטעלונג.
ספּעציפיקאַציע
אָפּעראַציע | קאָנטאַקט מאָדע, רייַבונג מאָדע, | יבערקוקן ווינקל | טראַפ |
מוסטער גרייס | Ø≤90מם, ה≤20מם | מוסטער באַוועגונג | 0~20מם |
מאַקס.יבערקוקן | X/Y: 20μם, ז: 2μם | דויפעק ברייט פון אַפּראָוטשינג מאָטאָר | 10±2מס |
האַכלאָטע | X/Y: 0.2 נם, ז: 0.05 נם | אָפּטיש סיסטעם | פאַרגרעסערונג: 4x, |
יבערקוקן קורס | 0.6 הז ~ 4.34 הז | דאַטע ווייזט | 256 × 256,512 × 512 |
סקאַנינג | XY: 18-bit D/A, Z: 16-bit D/A | טיפּ פון באַמערקונגען | דספּ דיגיטאַל באַמערקונגען |
דאַטאַ מוסטערונג | איין 14-ביסל אַ / די און טאָפּל 16-ביסל אַ / די קייפל-קאַנאַל סיימאַלטייניאַסלי | ||
פּיסי קשר | וסב2.0 | באַמערקונגען מוסטערונג קורס | 64.0KHz |
Windows | קאַמפּאַטאַבאַל מיט ווינדאָוז 98/2000/קספּ/7/8 |
נאָרמאַל
גיגאבייט/ט 2985-1991
פאַקטיש פאָטאָס