1. ינטעגראַטעד פּלאַן פון אָפּטיש מעטאַלאָגראַפיק מיקראָסקאָפּ און אַטאָמישע קראַפט מיקראָסקאָפּ, שטאַרק פאַנגקשאַנז
2. עס האט ביידע אָפּטיש מיקראָסקאָפּ און אַטאָמישע קראַפט מיקראָסקאָפּ ימאַגינג פאַנגקשאַנז, ביידע וואָס קענען אַרבעטן אין דער זעלביקער צייט אָן אַפעקטינג יעדער אנדערער
3. קענען אַרבעטן אין פּראָסט לופט סוויווע, פליסיק סוויווע, טעמפּעראַטור קאָנטראָל סוויווע און ינערט גאַז קאָנטראָל סוויווע אין דער זעלביקער צייט
4. די מוסטער סקאַנינג טיש און די לאַזער דיטעקשאַן קאָפּ זענען דיזיינד אין אַ פֿאַרמאַכט טיפּ, און ספּעציעל גאַז קענען זיין אָנגעפילט און דיסטשאַרדזשד ין, אָן אַדינג אַ סילינג דעקן
5. די לאַזער דיטעקשאַן אַדאַפּץ אַ ווערטיקאַל אָפּטיש דרך פּלאַן, און קענען אַרבעטן אונטער פליסיק מיט די גאַז-פליסיק צווייענדיק-ציל זאָנד האָלדער
6. די איין-אַקס פאָר מוסטער אויטאָמאַטיש אַפּראָוטשיז די זאָנד ווערטיקלי, אַזוי אַז די שפּיץ פון די נאָדל איז סקאַנד פּערפּענדיקולאַר צו די מוסטער
7. די ינטעליגענט נאָדל פידינג אופֿן פון די מאָטאָר-קאַנטראָולד פּרעשערייזד פּיעזאָעלעקטריק סעראַמיק אָטאַמאַטיק דיטעקשאַן פּראַטעקץ די זאָנד און די מוסטער
8. הינטער-הויך מאַגנאַפאַקיישאַן אָפּטיש פּאַזישאַנינג סיסטעם צו דערגרייכן גענוי פּאַזישאַנינג פון זאָנד און מוסטער סקאַנינג געגנט
9. ינטעגראַטעד סקאַננער ניט-לינעאַר קערעקשאַן באַניצער רעדאַקטאָר, נאַנאָמעטער כאַראַקטעריזיישאַן און מעזשערמאַנט אַקיעראַסי בעסער ווי 98%
ספּעסאַפאַקיישאַנז:
| אַפּערייטינג מאָדע | פאַרבינדן מאָדע, צאַפּן מאָדע |
| אָפּטיאָנאַל מאָדע | רייַבונג / לאַטעראַל פאָרס, אַמפּליטוד / פאַסע, מאַגנעטיק / עלעקטראָסטאַטיק פאָרס |
| קראַפט ספּעקטרום ויסבייג | פז קראַפט ויסבייג, רמס-ז ויסבייג |
| XY יבערקוקן קייט | 50*50ום, אַפּשאַנאַל 20*20ום, 100*100ום |
| ז יבערקוקן קייט | 5ום, אַפּשאַנאַל 2ום, 10ום |
| יבערקוקן האַכלאָטע | האָריזאָנטאַל 0.2נם, ווערטיקאַל 0.05נם |
| מוסטער גרייס | Φ≤68מם, ה≤20מם |
| מוסטער בינע רייזע | 25 * 25 מם |
| אָפּטיש אויג פּיעסע | 10X |
| אָפּטיש אָביעקטיוו | 5X/10X/20X/50X פּלאַן אַפּאָכראָמאַטיק אַבדזשעקטיווז |
| לייטינג אופֿן | LE Kohler ליגהטינג סיסטעם |
| אָפּטיש פאָוקיסינג | פּראָסט מאַנואַל פאָקוס |
| אַפּאַראַט | 5MP קמאָס סענסער |
| אַרויסווייַז | 10.1 אינטש פלאַך טאַפליע אַרויסווייַזן מיט גראַפיק פֿאַרבונדענע מעזשערמאַנט פונקציע |
| באַהיצונג ויסריכט | טעמפּעראַטור קאָנטראָל קייט: צימער טעמפּעראַטור ~ 250 ℃ (אַפּשאַנאַל) |
| הייס און קאַלט ינאַגרייטיד פּלאַטפאָרמע | טעמפּעראַטור קאָנטראָל קייט: -20 ℃ ~ 220 ℃ (אַפּשאַנאַל) |
| יבערקוקן גיכקייַט | 0.6Hz-30Hz |
| יבערקוקן ווינקל | 0-360° |
| אַפּערייטינג סוויווע | Windows XP/7/8/10 אָפּערייטינג סיסטעם |
| קאָמוניקאַציע צובינד | וסב2.0/3.0 |
