1. די לאַזער דיטעקשאַן קאָפּ און די מוסטער סקאַנינג בינע זענען ינאַגרייטיד, די סטרוקטור איז זייער סטאַביל, און די אַנטי-ינטערפיראַנס איז שטאַרק
2. רעוועסיאָן זאָנד פּאַזישאַנינג מיטל, לאַזער אָרט אַליינמאַנט אַדזשאַסטמאַנט איז זייער גרינג
3. קאַנדאַל-אַקס דרייוו בלויז מוסטער אַפּראָוטשיז די זאָנד ווערטיקלי, אַזוי אַז די נאָדל שפּיץ איז פּערפּענדיקולאַר צו די מוסטער יבערקוקן
4. די ינטעליגענט נאָדל פידינג אופֿן פון מאָטאָר-קאַנטראָולד פּרעשערייזד פּייאַזאָואַלעקטריק סעראַמיק אָטאַמאַטיק דיטעקשאַן פּראַטעקץ די זאָנד און דער מוסטער
5. אַוטאַמאַטיק אָפּטיש פּאַזישאַנינג, ניט דאַרפֿן צו פאָקוס, פאַקטיש-צייט אָבסערוואַציע און פּאַזישאַנינג פון די זאָנד מוסטער סקאַנינג געגנט
6. צוגעבן סאַספּענשאַן פּאַאָקפּראָאָף, פּשוט און פּראַקטיש, גוט שאָקקפּראָאָף ווירקונג
7.מעטאַרע שילדיד סאָונדפּראָאָף קעסטל, געבויט-אין הויך-פּינטלעכקייַט טעמפּעראַטור און הומידיטי סענסער, פאַקטיש-צייט מאָניטאָרינג פון די אַרבעט סוויווע
8.ינטאַגריקט סקאַננער נאָונלינעאַר קערעקשאַן באַניצער רעדאַקטאָר, נאַנאָמעטער כאַראַקטעריז און מעזשערמאַנט אַקיעראַסי בעסער ווי 98%
| אַפּערייטינג מאָדע | פאַרבינדן מאָדע, צאַפּן מאָדע |
| אָפּטיאָנאַל מאָדע | רייַבונג / לאַטעראַל קראַפט, אַמפּליטוד / פאַסע, מאַגנעטיק / ילעקטראָוסטאַטיק קראַפט |
| קראַפט ספּעקטרום ויסבייג | פז צווינגען ויסבייג, רמס-ז ויסבייג |
| XY Scange | 20 * 20 מינוט, אַפּשאַנאַל 50 * 50 om, 100 * 100um |
| ז יבערקוקן קייט | 2.5um, אַפּשאַנאַל 5 ום, 10 מעטער |
| יבערקוקן האַכלאָטע | האָריזאָנטאַל 0.2 נם, ווערטיקאַל 0.05 נם |
| מוסטער גרייס | Φ≤90 מם, ה ≤20 מם |
| מוסטער בינע רייזע | 15 * 15 מם |
| אָפּטיש אָבסערוואַציע | 4X אָפּטיש אָביעקטיוו אָביעקטיוו / 2.53 האַכלאָטע |
| יבערקוקן גיכקייַט | 0.6 הז -30 הז |
| יבערקוקן ווינקל | 0-360 ° |
| אָפּערייטינג סוויווע | Windows XP / 7/8 / 10 אָפּערייטינג סיסטעם |
| קאָמוניקאַציע צובינד | USB2.0 / 3.0 |
| קלאַפּ-אַבזאָרבינג פּלאַן | פרילינג סוספּענדעד / מעטאַל שילדיד קעסטל |
