1. די לאַזער דיטעקשאַן קאָפּ און די מוסטער סקאַנינג בינע זענען ינאַגרייטיד, די סטרוקטור איז זייער סטאַביל, און די אַנטי-ינטערפיראַנס איז שטאַרק
2.פּרעסיסיאָן זאָנד פּאַזישאַנינג מיטל, לאַזער אָרט אַליינמאַנט אַדזשאַסטמאַנט איז זייער גרינג
3. איין-אַקס פאָר מוסטער אויטאָמאַטיש אַפּראָוטשיז די זאָנד ווערטיקלי, אַזוי אַז די נאָדל שפּיץ איז פּערפּענדיקולאַר צו די מוסטער יבערקוקן
4. די ינטעליגענט נאָדל פידינג אופֿן פון מאָטאָר-קאַנטראָולד פּרעשערייזד פּיעזאָעלעקטריק סעראַמיק אָטאַמאַטיק דיטעקשאַן פּראַטעקץ די זאָנד און די מוסטער
5.אָטאַמאַטיק אָפּטיש פּאַזישאַנינג, ניט דאַרפֿן צו פאָקוס, פאַקטיש-צייט אָבסערוואַציע און פּאַזישאַנינג פון די זאָנד מוסטער סקאַנינג געגנט
6.פרילינג סאַספּענשאַן שאָקקפּראָאָף אופֿן, פּשוט און פּראַקטיש, גוט שאָקקפּראָאָף ווירקונג
7.מעטאַל שילדיד סאָונדפּראָאָף קעסטל, געבויט-אין הויך-פּינטלעכקייַט טעמפּעראַטור און הומידיטי סענסער, פאַקטיש-צייט מאָניטאָרינג פון די אַרבעט סוויווע
8. ינטעגראַטעד סקאַננער ניט-לינעאַר קערעקשאַן באַניצער רעדאַקטאָר, נאַנאָמעטער כאַראַקטעריזיישאַן און מעזשערמאַנט אַקיעראַסי בעסער ווי 98%
| אַפּערייטינג מאָדע | פאַרבינדן מאָדע, צאַפּן מאָדע |
| אָפּטיאָנאַל מאָדע | רייַבונג / לאַטעראַל פאָרס, אַמפּליטוד / פאַסע, מאַגנעטיק / עלעקטראָסטאַטיק פאָרס |
| קראַפט ספּעקטרום ויסבייג | פז קראַפט ויסבייג, רמס-ז ויסבייג |
| XY יבערקוקן קייט | 20*20ום, אַפּשאַנאַל 50*50ום, 100*100ום |
| ז יבערקוקן קייט | 2.5ום, אַפּשאַנאַל 5um, 10um |
| יבערקוקן האַכלאָטע | האָריזאָנטאַל 0.2נם, ווערטיקאַל 0.05נם |
| מוסטער גרייס | Φ≤90מם, ה≤20מם |
| מוסטער בינע רייזע | 15 * 15 מם |
| אָפּטיש אָבסערוואַציע | 4X אָפּטיש אָביעקטיוו אָביעקטיוו / 2.5ום האַכלאָטע |
| יבערקוקן גיכקייַט | 0.6Hz-30Hz |
| יבערקוקן ווינקל | 0-360° |
| אַפּערייטינג סוויווע | Windows XP/7/8/10 אָפּערייטינג סיסטעם |
| קאָמוניקאַציע צובינד | וסב2.0/3.0 |
| קלאַפּ-אַבזאָרבינג פּלאַן | פרילינג סוספּענדעד / מעטאַל שילדיד קעסטל |
