1. ינטעגראַטעד פּלאַן פון אָפּטיש מעטאַלאָגראַפיק מיקראָסקאָפּ און אַטאָמישע קראַפט מיקראָסקאָפּ, שטאַרק פאַנגקשאַנז
2.עס האט ביידע אָפּטיש מיקראָסקאָפּ און אַטאָמישע קראַפט מיקראָסקאָפּ ימאַגינג פאַנגקשאַנז, וואָס ביידע קענען אַרבעטן אין דער זעלביקער צייט אָן אַפעקטינג יעדער אנדערער
3.אין דער זעלביקער צייט, עס האט די פאַנגקשאַנז פון אָפּטיש צוויי-דימענשאַנאַל מעזשערמאַנט און אַטאָמישע קראַפט מיקראָסקאָפּ דריי-דימענשאַנאַל מעזשערמאַנט
4. די לאַזער דיטעקשאַן קאָפּ און די מוסטער סקאַנינג בינע זענען ינאַגרייטיד, די סטרוקטור איז זייער סטאַביל, און די אַנטי-ינטערפיראַנס איז שטאַרק
5. פּרעסיסיאָן זאָנד פּאַזישאַנינג מיטל, לאַזער אָרט אַליינמאַנט אַדזשאַסטמאַנט איז זייער גרינג
6. די איין-אַקס פאָר מוסטער אויטאָמאַטיש אַפּראָוטשיז די זאָנד ווערטיקלי, אַזוי אַז די שפּיץ פון די נאָדל איז סקאַנד פּערפּענדיקולאַר צו די מוסטער
7. די ינטעליגענט נאָדל פידינג אופֿן פון די מאָטאָר-קאַנטראָולד פּרעשערייזד פּיעזאָעלעקטריק סעראַמיק אָטאַמאַטיק דיטעקשאַן פּראַטעקץ די זאָנד און די מוסטער
8. הינטער-הויך מאַגנאַפאַקיישאַן אָפּטיש פּאַזישאַנינג סיסטעם צו דערגרייכן גענוי פּאַזישאַנינג פון זאָנד און מוסטער סקאַנינג געגנט
9. ינטעגראַטעד סקאַננער ניט-לינעאַר קערעקשאַן באַניצער רעדאַקטאָר, נאַנאָמעטער כאַראַקטעריזיישאַן און מעזשערמאַנט אַקיעראַסי בעסער ווי 98%
ספּעסאַפאַקיישאַנז:
| אַפּערייטינג מאָדע | פאַרבינדן מאָדע, צאַפּן מאָדע |
| אָפּטיאָנאַל מאָדע | רייַבונג / לאַטעראַל פאָרס, אַמפּליטוד / פאַסע, מאַגנעטיק / עלעקטראָסטאַטיק פאָרס |
| קראַפט ספּעקטרום ויסבייג | פז קראַפט ויסבייג, רמס-ז ויסבייג |
| XY יבערקוקן קייט | 50*50ום, אַפּשאַנאַל 20*20ום, 100*100ום |
| ז יבערקוקן קייט | 5ום, אַפּשאַנאַל 2ום, 10ום |
| יבערקוקן האַכלאָטע | האָריזאָנטאַל 0.2נם, ווערטיקאַל 0.05נם |
| מוסטער גרייס | Φ≤68מם, ה≤20מם |
| מוסטער בינע רייזע | 25 * 25 מם |
| אָפּטיש אויג פּיעסע | 10X |
| אָפּטיש אָביעקטיוו | 5X/10X/20X/50X פּלאַן אַפּאָכראָמאַטיק אַבדזשעקטיווז |
| לייטינג אופֿן | LE Kohler ליגהטינג סיסטעם |
| אָפּטיש פאָוקיסינג | פּראָסט מאַנואַל פאָקוס |
| אַפּאַראַט | 5MP קמאָס סענסער |
| אַרויסווייַז | 10.1 אינטש פלאַך טאַפליע אַרויסווייַזן מיט גראַפיק פֿאַרבונדענע מעזשערמאַנט פונקציע |
| יבערקוקן גיכקייַט | 0.6Hz-30Hz |
| יבערקוקן ווינקל | 0-360° |
| אַפּערייטינג סוויווע | Windows XP/7/8/10 אָפּערייטינג סיסטעם |
| קאָמוניקאַציע צובינד | וסב2.0/3.0 |
