1.ינטאַגרייטיד פּלאַן פון אָפּטיש מעטאַלאָגראַפיק מיקראָקקאָפּ און אַטאָמישע קראַפט מיקראָסקקאָפּ, שטאַרק פאַנגקשאַנז
2. עס איז אָפן פֿאַר די אָפּטיש מיקראָסקאָפּ און אַטאָמישע קראַפט מייקראָסקקאָפּ ימאַגינג פאַנגקשאַנז, וואָס ביידע קענען אַרבעטן אין דער זעלביקער צייט אָן אַפעקטינג יעדער אנדערע
3. האט אין דער זעלביקער צייט, עס האט די פאַנגקשאַנז פון אָפּטיש צוויי-דימענשאַנאַל מעזשערמאַנט און אַטאָמישע קראַפט מיקראָסקקאָפּ דריי-דימענשאַנאַל מעזשערמאַנט
4. דער לאַזער דיטעקשאַן קאָפּ און די מוסטער סקאַנינג בינע זענען ינאַגרייטיד, די סטרוקטור איז זייער סטאַביל, און די אַנטי-ינטערפיראַנס איז שטאַרק
5. פּרעסיסיאָן זאָנד פּאַזישאַנינג מיטל, לאַזער אָרט אַליינמאַנט אַדזשאַסטמאַנט איז זייער גרינג
6. די דרך מוסטער פון איין אַקס אויטאָמאַטיש אַפּראָוטשיז די זאָנד ווערטיקלי, אַזוי אַז די שפּיץ פון די נאָדל איז סקאַנד פּערפּענדיקאָרולאַר צו דער מוסטער
7. די ינטעליגענט נאָדל פידינג פון די מאָטאָר-קאַנטראָולד פּרעשערייזד פּייאַזאָואַלעקטריק סעראַמיק אָטאַמאַטיק דיטעקשאַן פּראַטעקץ די זאָנד און דער מוסטער
8. הינטער-הויך מאַגנאַפאַקיישאַן אָפּטיש פּאַזישאַנינג סיסטעם צו דערגרייכן גענוי פּאַזישאַנינג פון זאָנד און מוסטער סקאַנינג געגנט
9. ינאַגרייטיד סקאַננער קאָרעקשאַן באַניצער רעדאַקטאָר, נאַנאָמעטער כאַראַקטעריז און מעזשערמאַנט אַקיעראַסי בעסער ווי 98%
ספּעסאַפאַקיישאַנז:
| אַפּערייטינג מאָדע | פאַרבינדן מאָדע, צאַפּן מאָדע |
| אָפּטיאָנאַל מאָדע | רייַבונג / לאַטעראַל קראַפט, אַמפּליטוד / פאַסע, מאַגנעטיק / ילעקטראָוסטאַטיק קראַפט |
| קראַפט ספּעקטרום ויסבייג | פז צווינגען ויסבייג, רמס-ז ויסבייג |
| XY Scange | 50 * 50om, אָפּטיאָנאַל 20 * 20 ום, 100 * 1 קס |
| ז יבערקוקן קייט | 5 ום, אָפּטיאָנאַל 2um, 10 מינוט |
| יבערקוקן האַכלאָטע | האָריזאָנטאַל 0.2 נם, ווערטיקאַל 0.05 נם |
| מוסטער גרייס | Φ≤68 מם, ה ≤20 מם |
| מוסטער בינע רייזע | 25 * 25 מם |
| אָפּטיש ייעפּיעסע | 10 קס |
| אָפּטיש אָביעקטיוו | 5 קס / 10 קס / 20 קס / 50 קס פּלאַן אַפּאָטשראָמאַטיק אַבדזשעקטיווז |
| לייטינג אופֿן | לאַ קאָהלער ליגהטינג סיסטעם |
| אָפּטיש פאָקוס | פּראָסט מאַנואַל פאָקוס |
| אַפּאַראַט | 5 מפּ קמאָס סענסער |
| אַרויסווייַזן | 10.1 אינטש פלאַך טאַפליע אַרויסווייַזן מיט גראַפיק פֿאַרבונדענע מעסטן מעסטן מעסטן פונקציע |
| יבערקוקן גיכקייַט | 0.6 הז -30 הז |
| יבערקוקן ווינקל | 0-360 ° |
| אָפּערייטינג סוויווע | Windows XP / 7/8 / 10 אָפּערייטינג סיסטעם |
| קאָמוניקאַציע צובינד | USB2.0 / 3.0 |
