1. מיניאַטוריזעד און דיטאַטשאַבאַל פּלאַן, זייער גרינג צו פירן און לערנען
2. די לאַזער דיטעקשאַן קאָפּ און די מוסטער סקאַנינג בינע זענען ינאַגרייטיד, די סטרוקטור איז זייער סטאַביל, און די אַנטי-ינטערפיראַנס איז שטאַרק
3. פּרעסיסיאָן זאָנד פּאַזישאַנינג מיטל, לאַזער אָרט אַליינמאַנט אַדזשאַסטמאַנט איז זייער גרינג
4. די איין אַקס דרייווז די מוסטער צו אויטאָמאַטיש צוגאַנג די זאָנד ווערטיקלי, אַזוי אַז די שפּיץ פון די נאָדל איז סקאַנד פּערפּענדיקולאַר צו די מוסטער
5. די ינטעליגענט נאָדל פידינג אופֿן פון די מאָטאָר-קאַנטראָולד פּרעשערייזד פּיעזאָעלעקטריק סעראַמיק אָטאַמאַטיק דיטעקשאַן פּראַטעקץ די זאָנד און די מוסטער
6. אָטאַמאַטיק אָפּטיש פּאַזישאַנינג, ניט דאַרפֿן צו פאָקוס, פאַקטיש-צייט אָבסערוואַציע און פּאַזישאַנינג פון די זאָנד מוסטער סקאַנינג געגנט
7. ספּרינג סאַספּענשאַן שאָקקפּראָאָף אופֿן, פּשוט און פּראַקטיש, גוט שאָקקפּראָאָף ווירקונג
8. ינטעגראַטעד סקאַננער ניט-לינעאַר קערעקשאַן באַניצער רעדאַקטאָר, נאַנאָמעטער כאַראַקטעריזיישאַן און מעזשערמאַנט אַקיעראַסי בעסער ווי 98%
ספּעסאַפאַקיישאַנז:
| אַפּערייטינג מאָדע | פאַרבינדן מאָדע, צאַפּן מאָדע |
| אָפּטיאָנאַל מאָדע | רייַבונג / לאַטעראַל פאָרס, אַמפּליטוד / פאַסע, מאַגנעטיק / עלעקטראָסטאַטיק פאָרס |
| קראַפט ספּעקטרום ויסבייג | פז קראַפט ויסבייג, רמס-ז ויסבייג |
| XY יבערקוקן קייט | 20*20ום, אַפּשאַנאַל 50*50ום, 100*100ום |
| ז יבערקוקן קייט | 2.5ום, אַפּשאַנאַל 5um, 10um |
| יבערקוקן האַכלאָטע | האָריזאָנטאַל 0.2נם, ווערטיקאַל 0.05נם |
| מוסטער גרייס | Φ≤90מם, ה≤20מם |
| מוסטער בינע רייזע | 15 * 15 מם |
| אָפּטיש אָבסערוואַציע | 4X אָפּטיש אָביעקטיוו אָביעקטיוו / 2.5ום האַכלאָטע |
| יבערקוקן גיכקייַט | 0.6Hz-30Hz |
| יבערקוקן ווינקל | 0-360° |
| אַפּערייטינג סוויווע | Windows XP/7/8/10 אָפּערייטינג סיסטעם |
| קאָמוניקאַציע צובינד | וסב2.0/3.0 |
| קלאַפּ-אַבזאָרבינג פּלאַן | פרילינג סוספּענדעד |
