1. מיניאַטורעסעד און דיטאַטשאַבאַל פּלאַן, זייער גרינג צו פירן און לערנען
2. דער לאַזער דיטעקשאַן קאָפּ און די מוסטער סקאַנינג בינע זענען ינאַגרייטיד, די סטרוקטור איז זייער סטאַביל, און די אַנטי-ינטערפיראַנס איז שטאַרק
3. פּרעסיסיאָן זאָנד פּאַזישאַנינג מיטל, לאַזער אָרט אַליינמאַנט אַדזשאַסטמאַנט איז זייער גרינג
4. די איין אַקס דרייווז די מוסטער צו אויטאָמאַטיש צוגאַנג די זאָנד ווערטיקלי, אַזוי אַז די שפּיץ פון די נאָדל איז סקאַנד פּערפּענדיקאָרולאַר צו דער מוסטער
5. די ינטעליגענט נאָדל פידינג פון די מאָטאָר-קאַנטראָולד פּרעשערייזד פּייאַזאָואַלעקטריק סעראַמיק אָטאַמאַטיק דיטעקשאַן פּראַטעקץ די זאָנד און דער מוסטער
6. אָטאַמאַטיק אָפּטיש פּאַזישאַנינג, ניט דאַרפֿן צו פאָקוס, פאַקטיש-צייט אָבסערוואַציע און פּאַזישאַנינג פון די זאָנד מוסטער סקאַנינג געגנט
7. פרילינג סאַספּענשאַן שאָקקפּראָאָף אופֿן, פּשוט און פּראַקטיש, גוט שאָקקפּראָאָף ווירקונג
8. ינאַגרייטיד סקאַננער קערעקשאַן באַניצער רעדאַקטאָר, נאַנאָמעטער כאַראַקטעריז און מעאַסורעמענט אַקיעראַסי בעסער ווי 98%
ספּעסאַפאַקיישאַנז:
| אַפּערייטינג מאָדע | פאַרבינדן מאָדע, צאַפּן מאָדע |
| אָפּטיאָנאַל מאָדע | רייַבונג / לאַטעראַל קראַפט, אַמפּליטוד / פאַסע, מאַגנעטיק / ילעקטראָוסטאַטיק קראַפט |
| קראַפט ספּעקטרום ויסבייג | פז צווינגען ויסבייג, רמס-ז ויסבייג |
| XY Scange | 20 * 20 מינוט, אַפּשאַנאַל 50 * 50 om, 100 * 100um |
| ז יבערקוקן קייט | 2.5um, אַפּשאַנאַל 5 ום, 10 מעטער |
| יבערקוקן האַכלאָטע | האָריזאָנטאַל 0.2 נם, ווערטיקאַל 0.05 נם |
| מוסטער גרייס | Φ≤90 מם, ה ≤20 מם |
| מוסטער בינע רייזע | 15 * 15 מם |
| אָפּטיש אָבסערוואַציע | 4X אָפּטיש אָביעקטיוו אָביעקטיוו / 2.53 האַכלאָטע |
| יבערקוקן גיכקייַט | 0.6 הז -30 הז |
| יבערקוקן ווינקל | 0-360 ° |
| אָפּערייטינג סוויווע | Windows XP / 7/8 / 10 אָפּערייטינג סיסטעם |
| קאָמוניקאַציע צובינד | USB2.0 / 3.0 |
| קלאַפּ-אַבזאָרבינג פּלאַן | פרילינג סוספּענדעד |
